CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

    CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

    更新時間:2024-03-26 16:10:22
  1. 詳細信息

產品特點:

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆ ?石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆ ?采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆ ?60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

◆ ?頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


技術參數:

?

型號

CPC-G

CPC-Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

匹配器

自動匹配

激發方式

電容式

氣體控制

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

H100xΦ269mm

艙體容積

5.6L

艙體材質

石英玻璃

有效處理尺寸

Φ269mm?圓盤

時間設定

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

氣體穩定時間

1 分鐘

真空度

100pa?以內

???

AC220V 50/60Hz ?752/302W

產品尺寸

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L550xW630xH700mm

整機重量

30kg

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